ESDP變螺距干式螺桿真空泵

- ESDP variable pitch dry screw vacuum pump

ESDP干式螺桿真空泵使用了獨(dú)特的螺桿轉(zhuǎn)子型線，動(dòng)力節(jié)省30%，排氣溫度低，工藝穩(wěn)定，干式螺桿泵產(chǎn)品適用于各種領(lǐng)域的真空工藝，也維持了z u i 佳的真空效率和耐用性。ESDP系列不使用油和水，用可變壓縮方式操作，水蒸氣和液態(tài)混合工藝，非常適合干燥，溶劑回收，化工，制藥，塑料等各種真空工藝。

特點(diǎn)

■ ESDP干式螺桿真空泵優(yōu)點(diǎn)及特征

1.吸入效率(提升15%)。

2.排氣效率改善(2級可變，連續(xù)可變頻率)。

3.極限壓力：1*10-2Torr(托)。

4.排氣溫度降低50%。

5.電力消耗減少30%。

6.不使用油和水，不會造成油和水的污染。

7.低功耗、低噪音、低振動(dòng)，動(dòng)平衡好，沒有慣性力，可高速運(yùn)行。

8.設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)簡單，易保養(yǎng)，維修費(fèi)用低，壽命長。

9.適用范圍廣，具有高真空性能。

10.使用壽命長，氣體接觸部位都具有聚四氟乙烯、鎳和哈氏合金涂層(部分工藝可選用特種材質(zhì)解決腐蝕問題)。

11.唇型密封和機(jī)械密封等多種密封方式，滿足不同的工藝應(yīng)用。

12.前后采用稀有潤滑方式，提高軸承耐用性。

　　■ ESDP干式螺桿真空泵概述

　　極限壓力完全無油無水

　　ESDP干式螺桿真空泵使用了獨(dú)特的螺桿轉(zhuǎn)子型線，動(dòng)力節(jié)省30%，排氣溫度低，工藝穩(wěn)定，干式螺桿泵產(chǎn)品適用于各種領(lǐng)域的真空工藝，也維持了**佳的真空效率和耐用性。

　　ESDP系列不使用油和水，用可變壓縮方式操作，水蒸氣和液態(tài)混合工藝，非常適合干燥，溶劑回收，化工，制藥，塑料等各種真空工藝。

典型應(yīng)用

　　■ ESDP干式螺桿泵的應(yīng)用范圍

　　●ESDP系列在半導(dǎo)體合成及液晶生產(chǎn)上的應(yīng)用，主要有半導(dǎo)體等離子增強(qiáng)氣相沉淀(PECVD)和反映離子刻蝕(RIE)工藝，液晶生產(chǎn)蝕刻制程和生產(chǎn)TFT熒幕電漿(PLASMA)的CVD制程中。此工藝要求返流為0，以保護(hù)工件免受污染。

　　● 在石油化工中，主要是抽取可凝性氣體，或有毒氣體，或腐蝕性氣體，或含有微塵的氣體。

　　●制藥行業(yè)，用于藥物的真空干燥，藥物中間體回收，回收氣體消毒劑，為人造器官提供清潔無菌條件等。

　　●化工中用于真空蒸餾及溶劑萃取回收，例如萃取回收丙酮，多元醇等工藝

　　●工業(yè)排氣;集中式真空處理系統(tǒng)

　　●擠出機(jī)的混合工藝及板材的排氣工藝

　　●混合樹脂脫腥工藝;在脂肪酸生產(chǎn)中用于消除水污染，及噴射器中的阻塞物

　　●食品行業(yè)用于香料、香精濃縮，食品包裝等。

　　■ ESDP干式螺桿真空泵技術(shù)參數(shù)

型號	抽氣量	極限壓力	電機(jī)功率	轉(zhuǎn)速	進(jìn)氣	排氣	冷卻水量	噪聲	重量
型號	M3/h	Pa	KW	rpm	mm	mm	L/min	dB	Kg
ESDP320	260	1.33	7.5	2900	65	50	10	80	320
ESDP430	360	1.33	11	2900	65	50	12	80	380
ESDP650	540	1.33	15	2900	80	65	12	80	580
ESDP900	750	1.33	18.5	2900	100	65	20	80	680
ESDP1500	1400	1.33	37	2900	125	80	30	82	950