由于真空設(shè)備在制造和使用過程中存在各種污染，對其性能的影響很大。因此，真空裝置中污染的防治與清除非常重要。真空部件清洗技巧如下：

一、溶劑去油

零件所粘附的油脂分為礦物油、動植物油兩大類，礦物油可用有機溶劑去除，動植物油可用堿溶液化學(xué)去除，但實際上兩類油脂經(jīng)常同時存在，所以在清洗時往往需要先后采用數(shù)種不同的溶劑。

1堿液去油

當(dāng)零件浸入堿液時，由于堿液與油脂的化學(xué)作用可使動植物油轉(zhuǎn)化為脂肪酸鹽類（皂化作用），這些鹽類能溶解于水，從而能使零件除去油脂。金屬零件從去油溶液中取出后應(yīng)立即在溫水中徹底清洗，然后再用冷水清洗。若金屬表面不水濕潤（有水滴）即表示油污尚未除盡，應(yīng)再次進行處理。

2有機溶劑去油

有機溶劑能夠溶解礦物油和動植物油，通?？膳c堿液去油配合使用，常用有機溶劑有三氯乙烯（C2HCl3）、四氯乙烯（CCl4）、丙酮（C3H6O）、汽油、乙醚等。水是各種無機物和其他物質(zhì)的良好溶劑，由于自來水中含有較多的氯離子，所以一般均用加熱后的自來水進行清洗，當(dāng)要求較高時，可采用蒸餾水或去離子水，通常用流動的熱水清洗電鍍后和用酸、堿腐蝕后的零件。

二、酸、堿浸蝕處理

去油后進行浸蝕處理，目的是去除金屬表面的氧化物，經(jīng)過熱處理的零件，油污已不存在，可直接進行浸蝕處理，以去除退火后的氧化層。浸蝕處理一般在酸性溶液中進行，大多數(shù)金屬的氧化物以及金屬本身都能與適當(dāng)濃度的酸溶液起化學(xué)反應(yīng)，氧化物與酸反應(yīng)生成鹽和水，金屬與酸作用生成鹽和氫氣，氫氣的一部分被金屬表面吸附后，會使某些金屬變脆，為了避免金屬變脆和過度腐蝕，可在浸蝕液中加入緩蝕劑，并適當(dāng)控制浸蝕溶液的的濃度及溫度。

三、電化學(xué)清洗

將待清洗的金屬零件放在某種溶液中，并將零件接在電源的正極或負極，另外再用某一材料制作成的極板接電源的另一極，調(diào)節(jié)電源電壓，獲得一定電流密度，達到去油和去除金屬表面氧化層的目的。

電解去油的效率比化學(xué)去油高好幾倍，如果用堿液作為電解液，可用交流或直流作為電源，但交流的電解去油速率不如直流快。電解去油的原理是：電解時在電極上產(chǎn)生劇烈的氣泡（在陰極上產(chǎn)生氫氣，陽極上產(chǎn)生氧氣），零件上附著的油脂薄層因受機械力的沖擊而破壞，同時，油脂和堿液起皂化和乳化作用，加速了去油過程。電解用的電源電壓通常為2～12V，極間距離為5～15cm 。

四、超聲波清洗

超聲波清洗的原理是利用它所造成介質(zhì)的“空隙現(xiàn)象”，即超聲波的振動引起清洗介質(zhì)疏密變化而達到清洗目的。振動使介質(zhì)時而稀疏，時而閉合，稀疏時形成瞬時的空隙；閉合時產(chǎn)生瞬時沖擊力可達到幾個大氣壓，這個強大的沖擊能破壞物體表面的油膜，使之和污染物一起脫離物體表面被沖落到溶液中。

超聲波清洗可以去掉零件上孔內(nèi)部的污染物，這是一般清洗方法所無法實現(xiàn)的，超聲波清洗的溶液可以用水和其它溶劑，若用三氯乙烯會有更好的去油效果，常用工作頻率為4～10MHz。

結(jié)束語:通過本文介紹，作為專用設(shè)備的制造和使用者，我們在真空設(shè)備的使用和維護過程中，要做好清潔處理，去除或減少污染物，做到既有利于獲得良好真空、又能提高產(chǎn)品的使用壽命和可靠性。

參考文獻：達道安，真空設(shè)計手冊 [ M ]