中國的各種真空泵，目前發(fā)展愈來愈受到真空應用場合的影響，一般的真空系統(tǒng)無法滿足清潔無油的耐腐蝕的要求。因此，近年來干式真空泵市場需求量很大，真空泵已經出現(xiàn)更新?lián)Q代的局面，大量的有油真空系統(tǒng)已經越來越多的被無油清潔的真空系統(tǒng)所代替。

干式螺桿真空泵圖片

第一，2018年的干式螺桿真空泵現(xiàn)狀

國外幾乎每一家較大的真空泵公司都生產各種不同型式的干式真空泵。螺桿真空泵屬于非接觸型干式泵，是20世紀90年代初期出現(xiàn)的一種理想的泵種，以其抽速范圍寬、結構簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長、能耗低、無油污染等優(yōu)點占據(jù)市場，但其制造技術大部分為國外掌握，我國尚處于起步階段，市場對于干式泵有迫切的需求。

干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能，在歐美和日本目前已經成為微電子、半導體、制藥、精密加工等行業(yè)首選真空獲得設備。日本在螺桿壓縮機基礎上，很早就研發(fā)出了真空泵的多頭轉子型線并投入市場。德國幾家真空設備公司也逐步開發(fā)出了等螺距、變螺距轉子型線，并在轉子和機體冷卻方面做了很多研究。

螺桿泵的技術關鍵問題

干式螺桿泵的結構：螺桿真空泵結構主要由螺桿轉子、殼體、冷卻循環(huán)和密封材料構成。傳動軸連接主動轉子，通過同步齒輪帶動從動轉子的旋轉，在殼體上開有冷卻水通道，用來冷卻轉子和排氣口溫度，同步齒輪及軸承用油潤滑。軸承和殼體內部通過密封件來密封以達到無油的效果。干式螺桿真空泵同無油螺桿壓縮機在密封和潤滑上結構類似。一般真空泵的排氣端用機械式密封件，進氣側通常用雙唇形密封件。在傳動方式上，目前通用的是直連電機，用連軸器與轉子連接，極少數(shù)用皮帶或者鏈傳動。

等螺距螺桿泵由于無內壓縮過程，排氣溫度非常高(110度左右)，如果冷卻效果不好，會造成轉子和機殼變形，影響抽泣效果，所以冷卻機殼是必不可少的一個環(huán)節(jié)，水冷是最常見的方法。在機殼本體，軸承外側通冷卻水，可以達到冷卻殼體進而冷卻轉子的目的。萊寶公司在轉子內部通水冷卻，增加轉子壽命，并達到很好的冷卻效果。但是該種結構設計(兩段式)，需要一定的技術及加工水平支撐。

用水冷有時不能達到冷卻效果，因而通常在靠近排氣端轉子附近通冷卻氣體(多為氮氣)?，F(xiàn)在國外的主流螺桿真空泵都采用這種方法。這種方法有幾個好處：第一，能冷卻轉子的機殼，降低排氣溫度;第二，當氣體內含有顆粒物時，能防止顆粒物沉積或者發(fā)生化學反應引起爆炸。

第二、國內外主要生產公司概況

(1)塔海爾公司的KDP、SDV系列螺桿真空泵。塔海爾公司收購了凱尼真空公司。凱尼是美國歷史上最悠久的從事真空獲得設備的專業(yè)制造公司，在螺桿真空泵制造方面也是處于世界領先地位。KDP系列為等螺距轉子的真空泵，SDV為變螺距螺桿泵，二者均為水冷系統(tǒng)，風冷系統(tǒng)可選擇。SDV是在KDP基礎上進行的改進，變螺距螺桿泵能實現(xiàn)氣體內部壓縮，使排氣溫度降低，同比等螺距節(jié)能30%。在轉子上采用NiFlon涂層，即第一層為Ni，第二層為PFA。即使PFA磨損了，Ni層也能實現(xiàn)防腐蝕，同時采用Kalrez全氟化橡膠密封圈。SDV系列是凱尼公司主推的螺桿真空泵。

(2)德國萊寶公司在2002年底正式推出的SREWTINE系列螺桿式無油壓縮真空泵是一種專門為工業(yè)應用(非半導體應用)設計的干式泵，它是一種全新的設計，是專門用來解決工業(yè)應用中艱苦的真空問題。如粉塵、焦油等。此泵也是采用變螺距轉子，有內壓縮過程，泵腔內沒有內部閥門，因而耐粉塵和焦油能力強，此泵的螺桿采用內部中空冷卻，可以降低轉子溫度和熱變形，因此螺桿壽命延長。

(3)德國普旭公司的COBRAN系列螺桿泵，是制造工藝最理想的真空泵，特別適用于化工和制藥行業(yè)的各工藝流程。普旭是世界上最大的真空泵、鼓風機和壓縮機的供應商之一，真空泵的質量較高，相比其他廠家，在歐洲市場占有率極高，價格偏貴。

(4)德國里奇樂的VSA/VSB系列。VSA為等螺距轉子，市場評價較好，性能穩(wěn)定。VSB系列事變螺距轉子設計(非線型齒形設計)，同其他幾家一樣，通過內壓縮來改變泵的功耗和排氣溫度，不用兩級壓縮中間冷卻，單級即可實現(xiàn)很高的真空度。在密封件上作了改進，靜態(tài)密封元件優(yōu)選PTFE或者添加有PTFE的密封件，動態(tài)密封元件在真空泵吸入側用雙密封唇，真空泵排氣側用簡單的帶有防止氣體外溢的密封圈，以防固體物質進入泵內。

(5)日本的幾個生產商。日本是應用螺桿真空泵非常多的國家，半導體和LCD行業(yè)應用廣泛，大晃株式會社的吉村將士等很早就在單頭等螺桿轉子方面申請了專利，在轉子上作了深入的研究。日立公司早期也作過螺桿泵方面的研究。

研究瞻望：干式螺桿真空泵國內的研究還處在起始階段，很多技術難題還沒有解決。比如轉子涂層防腐蝕技術，降低排氣口的溫度，增大轉子面積利用率等問題仍然很棘手，當抽取一些活潑氣體時，由于排氣溫度高，安全性也是需要設計中考慮的，用在需要控制音量的場合，如何降噪也要成為研究方向，但其優(yōu)越的性能決定了它一定會在真空獲得設備行業(yè)占主導地位，就像現(xiàn)在螺桿壓縮機在行業(yè)內的統(tǒng)治地位一樣。

第三、煙臺沃爾姆干式螺桿真空泵，朔造國產干式螺桿泵品牌

煙臺沃爾姆真空技術有限公司，1998年-1999年創(chuàng)業(yè)煙臺福山地區(qū)的生產加工真空泵廠家，主要以生產水環(huán)泵為主。(參考：煙臺沃爾姆的發(fā)展歷程) 2002年，擴大規(guī)模才正式注冊為現(xiàn)在的公司名稱，2006年再次擴大規(guī)模建立了新廠區(qū)。公司實力雄厚，隨著規(guī)模逐漸擴大，生產的水環(huán)泵質量過硬，良好的口碑和信譽深得廣大新老客戶的信賴，也慢慢的成就了沃爾姆品牌。2009年，開始生產羅茨泵。2012年，干式螺桿真空泵開始投放市場。公司非?？粗馗杀玫奈磥砬熬?，加大力度對干式螺桿泵的研發(fā)。目前已經獲得了多項專利。(參考：煙臺沃爾姆的榮譽資質)目前，干式螺桿真空泵方面的技術，相比較同行而言，已經是很成熟的，這些年來經驗也是越來越豐富了，逐漸的朔造國產干式螺桿泵品牌。煙臺沃爾姆聯(lián)系電話：0535-2135735 ，歡迎全國各地的新老客戶來廠考察參觀、技術交流、合作洽談!

2018年8月23-25日，已參加了在上海新國際博覽中心舉辦的CPVF 2018第十屆上海國際化工泵、閥門及展覽會，展會舉辦的很成功，得到了同行和廣大新老客戶的認可。

2018年6月20-22日,在上海新國際博覽中心舉辦的“第十八屆世界制藥原料中國展”，煙臺沃爾姆將會攜帶著我們的干式螺桿真空泵和螺桿羅茨機組亮相，歡迎各方新老客戶蒞臨參觀!

總結：干式螺桿真空泵是技術含量非常高的科技產品，主要應用于高純凈的真空工藝過程 , 真空度極高，可適應惡劣工況，具有抽取凝性、含顆粒物氣體的能力，特別適 宜于 潔凈環(huán)境，且易做防腐處理，特別適用于電 子，化工，生物醫(yī)藥，金屬加工，食品加工等領域。隨著越來越多的企業(yè)中，正在使用的真空泵，逐漸被干式螺桿真空泵所替代。在各行各業(yè)的真空泵應用領域里，干式螺桿泵逐漸占據(jù)霸主地位。未來的真空泵前景，無疑會是進入干泵時代。

參考源資料：

干式螺桿真空泵 百度百科

知乎 https://www.zhihu.com/question/266026256