中國的各種真空泵，目前發(fā)展愈來愈受到真空應(yīng)用場合的影響，一般的真空系統(tǒng)無法滿足清潔無油的耐腐蝕的要求。因此，近年來干式真空泵市場需求量很大，真空泵已經(jīng)出現(xiàn)更新?lián)Q代的局面，大量的有油真空系統(tǒng)已經(jīng)越來越多的被無油清潔的真空系統(tǒng)所代替。

干式螺桿真空泵圖片

第一，2018年的干式螺桿真空泵現(xiàn)狀

國外幾乎每一家較大的真空泵公司都生產(chǎn)各種不同型式的干式真空泵。螺桿真空泵屬于非接觸型干式泵，是20世紀(jì)90年代初期出現(xiàn)的一種理想的泵種，以其抽速范圍寬、結(jié)構(gòu)簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長、能耗低、無油污染等優(yōu)點(diǎn)占據(jù)市場，但其制造技術(shù)大部分為國外掌握，我國尚處于起步階段，市場對于干式泵有迫切的需求。

干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能，在歐美和日本目前已經(jīng)成為微電子、半導(dǎo)體、制藥、精密加工等行業(yè)首選真空獲得設(shè)備。日本在螺桿壓縮機(jī)基礎(chǔ)上，很早就研發(fā)出了真空泵的多頭轉(zhuǎn)子型線并投入市場。德國幾家真空設(shè)備公司也逐步開發(fā)出了等螺距、變螺距轉(zhuǎn)子型線，并在轉(zhuǎn)子和機(jī)體冷卻方面做了很多研究。

螺桿泵的技術(shù)關(guān)鍵問題

干式螺桿泵的結(jié)構(gòu)：螺桿真空泵結(jié)構(gòu)主要由螺桿轉(zhuǎn)子、殼體、冷卻循環(huán)和密封材料構(gòu)成。傳動(dòng)軸連接主動(dòng)轉(zhuǎn)子，通過同步齒輪帶動(dòng)從動(dòng)轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)，在殼體上開有冷卻水通道，用來冷卻轉(zhuǎn)子和排氣口溫度，同步齒輪及軸承用油潤滑。軸承和殼體內(nèi)部通過密封件來密封以達(dá)到無油的效果。干式螺桿真空泵同無油螺桿壓縮機(jī)在密封和潤滑上結(jié)構(gòu)類似。一般真空泵的排氣端用機(jī)械式密封件，進(jìn)氣側(cè)通常用雙唇形密封件。在傳動(dòng)方式上，目前通用的是直連電機(jī)，用連軸器與轉(zhuǎn)子連接，極少數(shù)用皮帶或者鏈傳動(dòng)。

等螺距螺桿泵由于無內(nèi)壓縮過程，排氣溫度非常高(110度左右)，如果冷卻效果不好，會(huì)造成轉(zhuǎn)子和機(jī)殼變形，影響抽泣效果，所以冷卻機(jī)殼是必不可少的一個(gè)環(huán)節(jié)，水冷是最常見的方法。在機(jī)殼本體，軸承外側(cè)通冷卻水，可以達(dá)到冷卻殼體進(jìn)而冷卻轉(zhuǎn)子的目的。萊寶公司在轉(zhuǎn)子內(nèi)部通水冷卻，增加轉(zhuǎn)子壽命，并達(dá)到很好的冷卻效果。但是該種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)(兩段式)，需要一定的技術(shù)及加工水平支撐。

用水冷有時(shí)不能達(dá)到冷卻效果，因而通常在靠近排氣端轉(zhuǎn)子附近通冷卻氣體(多為氮?dú)?。現(xiàn)在國外的主流螺桿真空泵都采用這種方法。這種方法有幾個(gè)好處：第一，能冷卻轉(zhuǎn)子的機(jī)殼，降低排氣溫度;第二，當(dāng)氣體內(nèi)含有顆粒物時(shí)，能防止顆粒物沉積或者發(fā)生化學(xué)反應(yīng)引起爆炸。

第二、國內(nèi)外主要生產(chǎn)公司概況

(1)塔海爾公司的KDP、SDV系列螺桿真空泵。塔海爾公司收購了凱尼真空公司。凱尼是美國歷史上最悠久的從事真空獲得設(shè)備的專業(yè)制造公司，在螺桿真空泵制造方面也是處于世界領(lǐng)先地位。KDP系列為等螺距轉(zhuǎn)子的真空泵，SDV為變螺距螺桿泵，二者均為水冷系統(tǒng)，風(fēng)冷系統(tǒng)可選擇。SDV是在KDP基礎(chǔ)上進(jìn)行的改進(jìn)，變螺距螺桿泵能實(shí)現(xiàn)氣體內(nèi)部壓縮，使排氣溫度降低，同比等螺距節(jié)能30%。在轉(zhuǎn)子上采用NiFlon涂層，即第一層為Ni，第二層為PFA。即使PFA磨損了，Ni層也能實(shí)現(xiàn)防腐蝕，同時(shí)采用Kalrez全氟化橡膠密封圈。SDV系列是凱尼公司主推的螺桿真空泵。

(2)德國萊寶公司在2002年底正式推出的SREWTINE系列螺桿式無油壓縮真空泵是一種專門為工業(yè)應(yīng)用(非半導(dǎo)體應(yīng)用)設(shè)計(jì)的干式泵，它是一種全新的設(shè)計(jì)，是專門用來解決工業(yè)應(yīng)用中艱苦的真空問題。如粉塵、焦油等。此泵也是采用變螺距轉(zhuǎn)子，有內(nèi)壓縮過程，泵腔內(nèi)沒有內(nèi)部閥門，因而耐粉塵和焦油能力強(qiáng)，此泵的螺桿采用內(nèi)部中空冷卻，可以降低轉(zhuǎn)子溫度和熱變形，因此螺桿壽命延長。

(3)德國普旭公司的COBRAN系列螺桿泵，是制造工藝最理想的真空泵，特別適用于化工和制藥行業(yè)的各工藝流程。普旭是世界上最大的真空泵、鼓風(fēng)機(jī)和壓縮機(jī)的供應(yīng)商之一，真空泵的質(zhì)量較高，相比其他廠家，在歐洲市場占有率極高，價(jià)格偏貴。

(4)德國里奇樂的VSA/VSB系列。VSA為等螺距轉(zhuǎn)子，市場評價(jià)較好，性能穩(wěn)定。VSB系列事變螺距轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)(非線型齒形設(shè)計(jì))，同其他幾家一樣，通過內(nèi)壓縮來改變泵的功耗和排氣溫度，不用兩級壓縮中間冷卻，單級即可實(shí)現(xiàn)很高的真空度。在密封件上作了改進(jìn)，靜態(tài)密封元件優(yōu)選PTFE或者添加有PTFE的密封件，動(dòng)態(tài)密封元件在真空泵吸入側(cè)用雙密封唇，真空泵排氣側(cè)用簡單的帶有防止氣體外溢的密封圈，以防固體物質(zhì)進(jìn)入泵內(nèi)。

(5)日本的幾個(gè)生產(chǎn)商。日本是應(yīng)用螺桿真空泵非常多的國家，半導(dǎo)體和LCD行業(yè)應(yīng)用廣泛，大晃株式會(huì)社的吉村將士等很早就在單頭等螺桿轉(zhuǎn)子方面申請了專利，在轉(zhuǎn)子上作了深入的研究。日立公司早期也作過螺桿泵方面的研究。

研究瞻望：干式螺桿真空泵國內(nèi)的研究還處在起始階段，很多技術(shù)難題還沒有解決。比如轉(zhuǎn)子涂層防腐蝕技術(shù)，降低排氣口的溫度，增大轉(zhuǎn)子面積利用率等問題仍然很棘手，當(dāng)抽取一些活潑氣體時(shí)，由于排氣溫度高，安全性也是需要設(shè)計(jì)中考慮的，用在需要控制音量的場合，如何降噪也要成為研究方向，但其優(yōu)越的性能決定了它一定會(huì)在真空獲得設(shè)備行業(yè)占主導(dǎo)地位，就像現(xiàn)在螺桿壓縮機(jī)在行業(yè)內(nèi)的統(tǒng)治地位一樣。

第三、煙臺(tái)沃爾姆干式螺桿真空泵，朔造國產(chǎn)干式螺桿泵品牌

煙臺(tái)沃爾姆真空技術(shù)有限公司，1998年-1999年創(chuàng)業(yè)煙臺(tái)福山地區(qū)的生產(chǎn)加工真空泵廠家，主要以生產(chǎn)水環(huán)泵為主。(參考：煙臺(tái)沃爾姆的發(fā)展歷程) 2002年，擴(kuò)大規(guī)模才正式注冊為現(xiàn)在的公司名稱，2006年再次擴(kuò)大規(guī)模建立了新廠區(qū)。公司實(shí)力雄厚，隨著規(guī)模逐漸擴(kuò)大，生產(chǎn)的水環(huán)泵質(zhì)量過硬，良好的口碑和信譽(yù)深得廣大新老客戶的信賴，也慢慢的成就了沃爾姆品牌。2009年，開始生產(chǎn)羅茨泵。2012年，干式螺桿真空泵開始投放市場。公司非?？粗馗杀玫奈磥砬熬?，加大力度對干式螺桿泵的研發(fā)。目前已經(jīng)獲得了多項(xiàng)專利。(參考：煙臺(tái)沃爾姆的榮譽(yù)資質(zhì))目前，干式螺桿真空泵方面的技術(shù)，相比較同行而言，已經(jīng)是很成熟的，這些年來經(jīng)驗(yàn)也是越來越豐富了，逐漸的朔造國產(chǎn)干式螺桿泵品牌。煙臺(tái)沃爾姆聯(lián)系電話：0535-2135735 ，歡迎全國各地的新老客戶來廠考察參觀、技術(shù)交流、合作洽談!

2018年8月23-25日，已參加了在上海新國際博覽中心舉辦的CPVF 2018第十屆上海國際化工泵、閥門及展覽會(huì)，展會(huì)舉辦的很成功，得到了同行和廣大新老客戶的認(rèn)可。

2018年6月20-22日,在上海新國際博覽中心舉辦的“第十八屆世界制藥原料中國展”，煙臺(tái)沃爾姆將會(huì)攜帶著我們的干式螺桿真空泵和螺桿羅茨機(jī)組亮相，歡迎各方新老客戶蒞臨參觀!

總結(jié)：干式螺桿真空泵是技術(shù)含量非常高的科技產(chǎn)品，主要應(yīng)用于高純凈的真空工藝過程 , 真空度極高，可適應(yīng)惡劣工況，具有抽取凝性、含顆粒物氣體的能力，特別適 宜于 潔凈環(huán)境，且易做防腐處理，特別適用于電 子，化工，生物醫(yī)藥，金屬加工，食品加工等領(lǐng)域。隨著越來越多的企業(yè)中，正在使用的真空泵，逐漸被干式螺桿真空泵所替代。在各行各業(yè)的真空泵應(yīng)用領(lǐng)域里，干式螺桿泵逐漸占據(jù)霸主地位。未來的真空泵前景，無疑會(huì)是進(jìn)入干泵時(shí)代。

參考源資料：

干式螺桿真空泵 百度百科

知乎 https://www.zhihu.com/question/266026256